2024年度国家自然科学基金指南引导类原创探索计划项目——“先进IC制造装备基础前沿”申请指南已通过科学基金网络信息系统（https://grants.nsfc.gov.cn）发布，请登录科学基金网络信息系统，在“项目管理-项目指南”模块查看。
